更(geng)新時間：2023-11-12
中國科學院微(wei)電(dian)子研究所生產的(de)KW-4A/KW-5型勻(yun)膠(jiao)機(ji)適應于半(ban)導體硅片(pian)，載玻(bo)片(pian)，晶(jing)片(pian)，基片(pian)，ITO導電(dian)玻(bo)璃(li)等工藝(yi)，制版的(de)表面涂覆。該產品具有(you)轉速穩定和(he)啟動迅速等優點，并能保證半(ban)導體材料中涂膠(jiao)厚度的(de)一(yi)致(zhi)性和(he)均勻(yun)性。通常配真空泵一(yi)起使(shi)用。目前的(de)型號有(you)KW-4A型和(he)KW-5型。
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 生物產業,電子,航天 |
中國科(ke)學(xue)院(yuan)微(wei)電子研(yan)究所(suo)生產的KW-4A/KW-5型(xing)(xing)勻膠(jiao)機適應于半(ban)導體硅片(pian)(pian)，載(zai)玻片(pian)(pian)，晶片(pian)(pian)，基片(pian)(pian)，ITO導電玻璃(li)等(deng)(deng)工(gong)藝(yi)，制版的表(biao)面涂覆(fu)。該產品(pin)具有轉速穩(wen)定和(he)啟動(dong)迅速等(deng)(deng)優點，并能保證半(ban)導體材料中涂膠(jiao)厚度(du)的一致性(xing)(xing)和(he)均勻性(xing)(xing)。通常配真空泵一起(qi)使用。目前的型(xing)(xing)號有KW-4A型(xing)(xing)和(he)KW-5型(xing)(xing)。
技術參數及要求：變頻調速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
轉速：500-5000 轉/分
轉速穩定性：±1%
旋涂均勻性：±5％
旋涂工藝階段：2 段
旋涂時間：Ⅰ速0~18S；Ⅱ速0~60S
整機尺寸（長寬高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸（長寬高）：425mm×500mm×190mm
電機功率：180W
適(shi)應(ying)材(cai)料：硅(gui)片、玻(bo)璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材(cai)料
