更(geng)新時(shi)間(jian)：2023-11-12
我研究室生(sheng)產(chan)的(de)KW型勻膠(jiao)機適應于半(ban)導(dao)(dao)體(ti)硅片(pian)，載玻片(pian)，晶片(pian)，基片(pian)，ITO導(dao)(dao)電玻璃等(deng)工藝，制版(ban)的(de)表面(mian)涂(tu)覆。該產(chan)品具(ju)有轉速穩定(ding)和啟(qi)動迅速等(deng)優點，并(bing)能保證半(ban)導(dao)(dao)體(ti)材料(liao)中涂(tu)膠(jiao)厚(hou)度的(de)一致性(xing)和均勻性(xing)。通常(chang)配真空(kong)泵(beng)一起使用。目前的(de)型號有KW-4A型、KW-5型和KW-4T型。
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子 |
中國科學院微(wei)電子(zi)研(yan)究所 KW-4A型臺式勻膠(jiao)機/旋涂儀/涂膠(jiao)機
產品(pin)簡介
我研究室生產的KW-4A、KW-4T型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。
技術參數及要求：
基片尺寸： Φ 5 Φ 100mm 圓片，*大 100 × 100mm 2 方片
轉速： 25 0 9 000RPM
旋涂設置：任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性： 1%
旋涂均勻性： 1
旋涂工藝階段： 6 段
旋涂時間：單步工藝 0 180 0s 可根據 客戶需求 調節
整機尺寸（ 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機功率： 40W
適應材料：硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵參數：
型號： K W 550A/KW 550T
抽速： 1 .5 升 秒
功率： 3 20W
噪音： 50db
*低真空度： 700mmHg
重量： 7.3 Kg
尺寸 長寬(kuan)高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率： ：>60L/min
