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中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

更新時間:2021-12-27

簡要描述:

我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

產品主要特點

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。

2、轉(zhuan)速在500~8000轉(zhuan)/分范圍內非常穩定。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院(yuan)微電(dian)子(zi)研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

產品(pin)簡(jian)介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產(chan)品主要特(te)點(dian) 

1、開(kai)關電流調速,穩定性能更好,轉(zhuan)速調節以數字(zi)顯示(shi)為準。 

2、轉速在500~8000轉/分范圍內(nei)非(fei)常(chang)穩(wen)定。   

3、采用(yong)雙轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速。在啟動之后,先以低速運轉(zhuan)(zhuan)(zhuan),使膠攤開,然后自動轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)換(huan)到高速運轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)。兩種(zhong)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速及(ji)相(xiang)應的時間分別可調,時間分別控制在1~18秒(miao)和3秒(miao)~1分鐘(zhong)。 

4、具有定時功能。  

5、測速采用(yong)光(guang)電的辦法,產生光(guang)電脈沖(chong),由晶(jing)體(ti)分頻測速準確(que)性高(gao)。  

6、"吸片"采用電(dian)磁(ci)閥(fa)控制氣(qi)路,一個氣(qi)泵(beng)可同時帶(dai)幾臺勻膠(jiao)機(ji)工作,適合流水線的工藝,提高了效率。   

7、在安裝結構上(shang),采取(qu)了減(jian)振措(cuo)施,保證了在運轉時噪音(yin)低。 

性能指標:

參數

指標

調速范圍和勻膠時間

Ⅰ檔調速范圍(wei):500-2000轉(zhuan)/分Ⅰ檔勻膠時間:2-18秒

Ⅱ檔調速范圍:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間:3-60秒

適用

Φ5-Φ100mm硅片及(ji)其它(ta)材料等勻膠

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速(su)穩定度:±1%,膠的均勻性(xing):±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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